Art

J-GLOBAL ID：200902163517629403   Reference number：96A1023786

Negative Resists Using Acid-Catalyzed Dehydration of Phenylcarbinols: Correlation between Chemical Structure and Resist Sensitivity.

フェニルカルビノールの酸触媒脱水素反応による負のレジスト 化学構造とレジスト感度の相関性

Author (4)： KOJIMA K (Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN) ,  UCHINO S (Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN) ,  ASAI N (Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN) ,  UENO T (Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
Material： Chemistry of Materials  (Chem Mater)
Volume： 8  Issue： 10  Page： 2433-2438  Publication year： Oct. 1996 
JST Material Number： T0893A  ISSN： 0897-4756  CODEN： CMATEX  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： dehydrogenation (chemical reaction) ,...
Semi thesaurus term： crosslinking ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=96A1023786&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=T0893A") }}

JST classification (4)： Catalytic reactions(homogeneous system)  (CB06090Q) ,  Oxidation,reduction  (CF02060T) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Physical properties of polymer solids  (CG02024U)

Substance index (12)： Benzyl alcohol ,  1-Phenylethanol ,  2-Phenyl-2-propanol ,  1,3-Benzenedimethanol ,  1,1′-m-Phenylenebis(1-propanol) ,  Meta-diol ,  1,4-Benzenedimethanol ,  1,1′-(p-Phenylene)bisethanol ,  2,2′-(p-Phenylene)di(2-propanol) ,  1,3,5-Benzenetrimethanol ,  α,α′,α′′-Trimethyl-1,3,5-benzenetrimethanol ,  Benzene-1,3,5-triyltris(α,α-dimethylmethanol)

Terms in the title (7)： フェニルカルビノール ,  酸触媒 ,  脱水素反応 ,  レジスト ,  化学構造 ,  感度 ,  相関性