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J-GLOBAL ID：200902164529110868
Reference number：99A0463361
単結晶3C-SiCのレジストレスパターンエッチング [IV] フッ酸の効果
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Author (4)：
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Material：
Volume：
46th
Issue：
2
Page：
781
Publication year：
Mar. 28, 1999
JST Material Number：
Y0054A
Document type：
Proceedings
Country of issue：
Japan (JPN)
Language：
JAPANESE (JA)
Terms in the title (3)：
Terms in the title
Keywords automatically extracted from the title.
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