Art

J-GLOBAL ID：200902164565975590   Reference number：93A0458877

Machine vision techniques for subpixel estimation of critical dimensions.

限界寸法のサブピクセル評価用機械視覚技術

Author (3)： AGHAJAN H K (Stanford Univ., California) ,  SCHAPER C D (Stanford Univ., California) ,  KAILATH T (Stanford Univ., California)
Material： Optical Engineering  (Opt Eng)
Volume： 32  Issue： 4  Page： 828-839  Publication year： Apr. 1993 
JST Material Number： B0577B  ISSN： 0091-3286  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： optical image ,...

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JST classification (2)： Optical instruments and techniques in general  (BD07010S) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： 限界寸法 ,  サブピクセル ,  評価 ,  視覚