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J-GLOBAL ID：200902165647444963   Reference number：01A1019444

Deposition of Conformal Copper and Nickel Films from Supercritical Carbon Dioxide.

超臨界二酸化炭素からのコンフォーマル(共形)な銅とニッケルフィルムの沈着

Author (4)： BLACKBURN J M (Univ. Massachusetts, MA, USA) ,  LONG D P (Univ. Massachusetts, MA, USA) ,  CABANAS A (Univ. Massachusetts, MA, USA) ,  WATKINS J J (Univ. Massachusetts, MA, USA)
Material： Science
Volume： 294  Issue： 5540  Page： 141-145  Publication year： Oct. 05, 2001 
JST Material Number： E0078A  ISSN： 0036-8075  CODEN： SCIEA  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *metallic thin film ,...

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JST classification (1)： Electroless plating  (WC08024S)

Terms in the title (6)： 超臨界二酸化炭素 ,  形 ,  銅 ,  ニッケル ,  フィルム ,  沈着