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J-GLOBAL ID：200902165814149472   Reference number：98A0506785

Detection of Hydrogen Atoms in Processing Plasma Using Two-Photon LIF. VIII.

二光子励起レーザー蛍光法によるプロセシングプラズマ中の水素原子計測 VIII

Author (8)： MIYAZAKI KOICHI (久留米工高専) ,  MATSUKUMA AKINORI (九大) ,  KAJIWARA TOSHIAKI (九大) ,  UCHINO KIICHIRO (九大) ,  MASUDA KOJI (九大) ,  MURAOKA KATSUNORI (九大) ,  OKADA TATSUO (九大) ,  MAEDA MITSUO (九大)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 45th  Issue： 2  Page： 919  Publication year： Mar. 1998 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： 二光子励起 ,  レーザー蛍光 ,  水素原子 ,  計測