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J-GLOBAL ID：200902165893635344   Reference number：94A0731437

Deposition and characterization of nanocrystalline diamond films.

Author (6)： GRUEN D M (Argonne National Lab., Illinois) ,  PAN X (Argonne National Lab., Illinois) ,  KRAUSS A R (Argonne National Lab., Illinois) ,  LIU S (Argonne National Lab., Illinois) ,  LUO J (Argonne National Lab., Illinois) ,  FOSTER C M (Argonne National Lab., Illinois)
Material： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science and Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films)
Volume： 12  Issue： 4 Pt 1  Page： 1491-1495  Publication year： Jul. 1994 
JST Material Number： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  Document type： Article
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)