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J-GLOBAL ID：200902166147405984   Reference number：02A0041516

UBMスパッタ法で作成したDLC積層膜の摺動特性

Author (2)： IWAMURA EIJI (神戸製鋼所 材料研) ,  AKARI KOICHIRO (神戸製鋼所)
Material： 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集  (Proceedings of JAST Tribology Conference)
Volume： 2001-11  Page： 151-152  Publication year： Oct. 14, 2001 
JST Material Number： Y0047B  ISSN： 0919-6005  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *DLC film ,...

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JST classification (2)： Mechanical properties of solids in general  (BL01021C) ,  Lubrication in general  (QB02010S)

Terms in the title (5)： UBM ,  スパッタ法 ,  DLC ,  積層膜 ,  摺動特性