Art
J-GLOBAL ID：200902166187275242
Reference number：97A0203042
Electrostatic Micro Torsion Mirrors for an Optical Switch Matrix.
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Author (2)：
,
Material：
Volume：
5
Issue：
4
Page：
231-237
Publication year：
Dec. 1996
JST Material Number：
W0357A
ISSN：
1057-7157
CODEN：
JMIYET
Document type：
Article
Country of issue：
United States (USA)
Language：
ENGLISH (EN)
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