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J-GLOBAL ID：200902166621693546   Reference number：99A0873663

X線反射率法を用いた薄膜物性測定における表面被覆膜形成による感度向上

Author (4)： RYU KOYU (ソニー 中研) ,  KUDO YOSHIHIRO (ソニー 中研) ,  KAWATO SEIJI (ソニー 中研) ,  HIRANO KEIICHI (高エネルギー加速器研究機構)
Material： 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム予稿集  (日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム)
Volume： 11th  Page： 38  Publication year： Jan. 09, 1998 
JST Material Number： L1310A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： X線反射率法 ,  薄膜物性 ,  被覆膜形成 ,  感度向上