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J-GLOBAL ID：200902167421277846   Reference number：93A0230333

Development of Precision Feed Mechanism by Applying Principle of Walking Drive. (1st Report). Principle and Basic Performance of Walking Drive.

Walking Driveによる精密送り機構の開発 (第1報) Walking Driveの駆動原理と基本特性

Author (3)： SHAMOTO EIJI (神戸大 工) ,  SHIN H (神戸大) ,  MORIWAKI TOSHIMICHI (神戸大 工)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 59  Issue： 2  Page： 317-322  Publication year： Feb. 1993 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： driving mechanism ,...
Semi thesaurus term： PZT

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JST classification (1)： Machine tool elements,jigs,chucks  (QC01020Z)

Reference (9)：

• 1) 森山茂夫, 原田達男, 高梨明紘 : 圧電素子アクチュエータを備えた超精密X-Y移動台, 精密機械, 50, 4 (1984) 718.
• 2) Burleigh Instrument Inc. Catalog.
• 3) Y. Takeuchi and H. Shimizu : Development of a Rotational Positioning Device with High Accuracy by Piezoelectric Actuators, Proc. Int. Conf. on Advanced Mechatronics, JSME, (1989) 153.
• 4) 樋口俊郎, 渡辺正浩, 工藤謙一 : 圧電素子の急速変形を利用した超精密位置決め機構, 精密工学会誌, 54, 11 (1988) 2107.
• 5) T. Moriwaki, S. Tateiwa and T. Kagawa : Development of Micro Tool Positioning System for Precision Machining, Proc. Int. Conf. on Advanced Mechatronics, JSME, (1989) 147.

Terms in the title (2)： 開発 ,  原理