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J-GLOBAL ID：200902169152991564   Reference number：95A0554860

Application of Polysilsesquioxane to Anti-reflection Coatings.

ポリフェニルシルセスキオキサンの反射防止膜としての応用検討

Author (4)： MINAMI SHINTARO (三菱電機) ,  ADACHI ETSUSHI (三菱電機) ,  NISHIMURA HIROYUKI (三菱電機) ,  ADACHI HIROSHI (三菱電機)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 42nd  Issue： Pt 2  Page： 597  Publication year： Mar. 1995 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (3)： ポリフェニルシルセスキオキサン ,  反射防止膜 ,  応用