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J-GLOBAL ID：200902169247377804   Reference number：02A0435877

Preparation of Solid Oxide Fuel Cell Having a Three-Layer Film Structure Grown by RF Magnetron Sputtering.

スパッタリング法による薄膜3層構造を有した固体酸化物燃料電池の作製条件の検討

Author (3)： DEISHI TERUYUKI (大阪工大 工) ,  OKAYAMA HIDEO (大阪工大 工) ,  NAGATA AKIYOSHI (大阪工大 工)
Material： 真空  (Journal of the Vacuum Society of Japan)
Volume： 45  Issue： 3  Page： 305-308  Publication year： Mar. 20, 2002 
JST Material Number： G0194A  ISSN： 0559-8516  CODEN： SHINA  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *solid electrolyte fuel cell ,...

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JST classification (2)： Fuel cells  (YB04040V) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (4)：

• 田川博章. 固体酸化物燃料電池と地球環境. 1998
• 長田. 真空. 1999, 42, 3, 151-154
• OKAYAMA, H. Proceedings on The 6th International Symposium on Sputtering & Plasma Processes, ISSP 2001 Committee. 2001, 1, 1, 374-377
• 日本化学会編. 電気・磁気, 丸善. 1991, 170

Terms in the title (5)： スパッタリング法 ,  薄膜 ,  3層構造 ,  固体酸化物燃料電池 ,  作製条件