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J-GLOBAL ID：200902170348439787   Reference number：94A0774593

Metrology sensors for advanced resists.

Author (4)： ZAIDI S (Univ. New Mexico, NM) ,  PRINS S L (Univ. New Mexico, NM) ,  MCNEIL J R (Univ. New Mexico, NM) ,  NAQVI S S H (Univ. New Mexico, NM)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 2196  Page： 341-351  Publication year： 1994 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)