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J-GLOBAL ID：200902171102119330   Reference number：98A0506205

Development of New Device-Processing Technology Combining Low-Energy Negative Beam with Laser Excitation.

低エネルギー負イオンビームとレーザー光の複合化による新しい材料プロセス技術の開発

Author (4)： TAKEDA AKIHIRO (金沢工大) ,  KITAGAWA YOSHIYASU (金沢工大) ,  HAYASHI KEIJI (金沢工大) ,  SAKUDO NORIYUKI (金沢工大)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 45th  Issue： 2  Page： 701  Publication year： Mar. 1998 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (6)： 低エネルギー ,  負イオンビーム ,  レーザー光 ,  複合化 ,  材料プロセス ,  開発