Art

J-GLOBAL ID：200902171667436134   Reference number：99A0636374

Integration of Silicon Bench with Micro Optics.

マイクロ光学によるシリコンベンチの集積化

Author (6)： HAN H (Digital Optics Corp., NC) ,  STACK J D (Digital Optics Corp., NC) ,  MATHEWS J (Digital Optics Corp., NC) ,  KOEHLER C S (Digital Optics Corp., NC) ,  JOHNSON E (Digital Optics Corp., NC) ,  KATHMAN A D (Digital Optics Corp., NC)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 3631  Page： 234-243  Publication year： 1999 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (5)： マイクロ ,  光学 ,  シリコン ,  ベンチ ,  集積化