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J-GLOBAL ID：200902172472277194   Reference number：02A0200695

Local Mechanical-Stress Control(LMC): A New Technique for CMOS-Performance Enhancement.

局所的機械応力制御(LMC) CMOS性能強化のための新技術

Author (8)： SHIMIZU A (Hitachi ULSI Systems, Co., Ltd., JPN) ,  HACHIMINE K (Hitachi ULSI Systems, Co., Ltd., JPN) ,  OHKI N (Hitachi ULSI Systems, Co., Ltd., JPN) ,  OHTA H (Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN) ,  KOGUCHI M (Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN) ,  NONAKA Y (Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN) ,  SATO H (Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN) ,  OOTSUKA F (Hitachi, Ltd., Tokyo, JPN)
Material： Technical Digest. International Electron Devices Meeting  (IEEE International Electron Devices Meeting)
Volume： 2001  Page： 433-436  Publication year： 2001 
JST Material Number： C0829B  ISSN： 0163-1918  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *MOSFET ,...
Semi thesaurus term： 機械応力制御 ,...

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JST classification (2)： Semiconductor integrated circuit  (NC03162T) ,  Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G)

Terms in the title (2)： CMOS ,  強化