Art

J-GLOBAL ID：200902172661015958   Reference number：96A0959549

Ductile-regime turning mechanism of single-crystal silicon.

単結晶シリコンのダクタイル様式の旋削機構

Author (4)： SHIBATA T (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN) ,  FUJII S (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN) ,  MAKINO E (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN) ,  IKEDA M (Hokkaido Univ., Sapporo, JPN)
Material： Precision Engineering  (Precis Eng)
Volume： 18  Issue： 2/3  Page： 129-137  Publication year： Apr. 1996 
JST Material Number： A0734B  ISSN： 0141-6359  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： silicon ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (3)： 単結晶シリコン ,  様式 ,  旋削