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J-GLOBAL ID：200902172964706694   Reference number：99A0997305

Design and Implementation of High-Speed Planar Si Photodiodes Fabricated on SOI Substrates.

SOI基板上に作られた高速プレーナSiフォトダイオードの設計とその実行

Author (4)： SCHOW C L (Univ. Texas, TX, USA) ,  LI R (Univ. Texas, TX, USA) ,  SCHAUB J D (Univ. Texas, TX, USA) ,  CAMPBELL J C (Univ. Texas, TX, USA)
Material： IEEE Journal of Quantum Electronics  (IEEE J Quantum Electron)
Volume： 35  Issue： 10  Page： 1478-1482  Publication year： Oct. 1999 
JST Material Number： H0432A  ISSN： 0018-9197  CODEN： IEJQA7  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： SOI structure ,...

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JST classification (1)： Photodetectors  (NC03083X)

Terms in the title (5)： SOI基板 ,  プレーナ ,  Si ,  フォトダイオード ,  設計