Art

J-GLOBAL ID：200902175014473218   Reference number：98A0757818

8inches Wafer Transfer System in Vacuum.

8インチウエハ真空搬送システム

Author (5)： ZEMPO HIDEHARU (安川電機) ,  SATO SHINOBU (安川電機) ,  NOBAYASHI SHIGEMI (安川電機) ,  NOGUCHI TADATAKA (安川電機) ,  RYU MASAHIKO (安川電機)
Material： 技報安川電機  (Yaskawa Technical Review)
Volume： 62  Issue： 2  Page： 67-73  Publication year： Jul. 1998 
JST Material Number： F0381A  ISSN： 0918-242X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： large diameter ,...

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JST classification (2)： Control equipment in general  (IC02010N) ,  Solic-state devices in general  (NC03010Z)

Terms in the title (3)： ウエハ ,  真空 ,  搬送システム