Art
J-GLOBAL ID：200902175258907481   Reference number：98A0450981

A bulk-micromachined three-axis accelerometer using silicon direct bonding technology and polysilicon layer.

シリコンの直接ボンディング技法およびポリシリコン層を使ったバルク-マイクロ加工の三軸加速度計
Author (2)：
KWON K

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(Kyungpook National Univ., Taegu, KOR)

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PARK S

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Material：
Sensors and Actuators. A. Physical  (Sens Actuators A)

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Volume： A66  Issue： 1/3  Page： 250-255  Publication year： Apr. 01, 1998 
JST Material Number： B0345C  ISSN： 0924-4247  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)
Thesaurus term：
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*accelerometer

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Measuring methods and instruments of time,speed,acceleration,angular veloc? 
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