Art

J-GLOBAL ID：200902175274383239   Reference number：00A0290732

Permanent magnet films for applications in microelectromechanical systems.

マイクロエレクトロメカニカルシステムのための永久磁石膜

Author (1)： CHIN T-S (National Tsing Hua Univ., Hsinchu, TWN)
Material： Journal of Magnetism and Magnetic Materials  (J Magn Magn Mater)
Volume： 209  Issue： 1/3  Page： 75-79  Publication year： Feb. 2000 
JST Material Number： H0644A  ISSN： 0304-8853  Document type： Article
Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (2)： マイクロエレクトロメカニカルシステム ,  永久磁石