Art

J-GLOBAL ID：200902175280377593   Reference number：97A0954362

Laser Ablation and Micromachining with Ultrashort Laser Pulses.

超短レーザ・パルスによるレーザ・アブレーションとマイクロマシニング

Author (3)： LIU X (Univ. Michigan, MI, USA) ,  DU D (Univ. Michigan, MI, USA) ,  MOUROU G (Univ. Michigan, MI, USA)
Material： IEEE Journal of Quantum Electronics  (IEEE J Quantum Electron)
Volume： 33  Issue： 10  Page： 1706-1716  Publication year： Oct. 1997 
JST Material Number： H0432A  ISSN： 0018-9197  CODEN： IEJQA7  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *pulsed laser ,...

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JST classification (2)： Applications of lasers  (BD04100V) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： レーザ ,  パルス ,  アブレーション ,  マイクロマシニング