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J-GLOBAL ID：200902175416435533   Reference number：97A0356912

A Numerical Study of the Effects of Electromagnetic Stirring on the Distributions of Temperature and Oxygen Concentration in Silicon Double-Crucible Czochralski Processing.

シリコン二重るつぼCzochralski工程における温度および酸素濃度の分布に対する電磁撹はんの効果の数値研究

Author (2)： ONO N (Mitsubishi Materials Corp., Saitama) ,  TRAPAGA G (Massachusetts Inst. Technol., Massachusetts, USA)
Material： Journal of the Electrochemical Society  (J Electrochem Soc)
Volume： 144  Issue： 2  Page： 764-772  Publication year： Feb. 1997 
JST Material Number： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： silicon ,...

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JST classification (3)： Crystal growth of semiconductors  (BK13040X) ,  Materials of solid-state devices  (NC03020K) ,  Inorganic compounds and elements in general  (CD01010D)

Terms in the title (7)： シリコン ,  るつぼ ,  酸素濃度 ,  分布 ,  電磁撹はん ,  数値 ,  研究