Art

J-GLOBAL ID：200902175531377415   Reference number：96A1019041

Low-stiffness silicon cantilevers for thermal writing and piezoresistive readback with the atomic force microscope.

原子間力顕微鏡を用いた熱的書込みと圧抵抗リードバックのための低剛性けい素カンチレバー

Author (6)： CHUI B W (Stanford Univ., California) ,  STOWE T D (Stanford Univ., California) ,  KENNY T W (Stanford Univ., California) ,  MAMIN H J (IBM Res. Div., California) ,  TERRIS B D (IBM Res. Div., California) ,  RUGAR D (IBM Res. Div., California)
Material： Applied Physics Letters  (Appl Phys Lett)
Volume： 69  Issue： 18  Page： 2767-2769  Publication year： Oct. 28, 1996 
JST Material Number： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： atomic force microscope ,...
Semi thesaurus term： cantilever

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JST classification (2)： Electron and ion microscopes  (BD02050B) ,  Electronic recording,magnetic recording,optical recording  (NC06020F)

Terms in the title (8)： 原子間力顕微鏡 ,  書込み ,  圧 ,  リード ,  バック ,  剛性 ,  けい素 ,  カンチレバー