Art

J-GLOBAL ID：200902175709986593   Reference number：98A0810713

Diamond deposition by chemical vapor deposition process: Study of the bias enhanced nucleation step.

化学蒸着プロセスによるダイヤモンド蒸着 バイアス増強核形成ステップ

Author (4)： BARRAT S (Ecole des Mines, Nancy, FRA) ,  SAADA S (Ecole des Mines, Nancy, FRA) ,  DIEGUEZ I (Ecole des Mines, Nancy, FRA) ,  BAUER-GROSSE E (Ecole des Mines, Nancy, FRA)
Material： Journal of Applied Physics  (Journal of General Physics and its Application to Other Sciences and to Industry)
Volume： 84  Issue： 4  Page： 1870-1880  Publication year： Aug. 15, 1998 
JST Material Number： C0266A  ISSN： 0021-8979  CODEN： JAPIAU  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *Diamond ,...

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=98A0810713&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=C0266A") }}

JST classification (1)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A)

Terms in the title (6)： 化学蒸着プロセス ,  ダイヤモンド ,  蒸着 ,  バイアス ,  増強 ,  核形成