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J-GLOBAL ID：200902176217149986   Reference number：96A0971100

Measurement of Motion Accuracy and Improvement of Machining Accuracy on Ultra-high Precision NC Machine Tools by Using Cross Grid Encoder Test.

交差格子スケールを用いた超精密NC工作機械の運動精度の測定と加工精度の改善

Author (6)： KAKINO YOSHIAKI (京大 工) ,  IHARA YUKITOSHI (京大 工) ,  LIN S (京大 工) ,  HAYAMA SADAJI (東芝機械) ,  KAWAKAMI KUNIHARU (東芝機械) ,  HAMAMURA MINORU (東芝機械)
Material： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
Volume： 62  Issue： 11  Page： 1612-1616  Publication year： Nov. 1996 
JST Material Number： F0268A  ISSN： 0912-0289  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： NC machine tool ,...
Semi thesaurus term： machining accuracy

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JST classification (1)： Cutting in general  (QC02010V)

Reference (6)：

• ISO/DIS 230-4, Acceptance code for machine tools-Part 4, Circular tests for numerically controlled machine tools. 1994
• 垣野義昭. DBB法によるNC工作機械の精度評価法. 1990
• 奥山繁樹. NC平面研削盤の運動精度に関する研究-円弧補間運動精度の測定法-. 精密工学会誌. 1994, 60,12, 1756
• TEIMEL, A. Technology and Appllications of Grating Interferometers in High-precision Measurement. Prec. Eng. 1992, 14,3, 147
• 垣野義昭. NC工作機械の運動精度に関する研究(第4報)-円弧補間時の半径減少のNC補正-. 精密工学会誌. 1988, 54,6, 1113

Terms in the title (7)： 交差 ,  格子 ,  スケール ,  超精密 ,  NC工作機械 ,  運動精度 ,  加工精度