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J-GLOBAL ID：200902176993109846   Reference number：98A0560787

Investigation of anodized Si films by transmission electron microscope.

陽極酸化シリコン膜の断面TEM評価

Author (4)： MOTOI TAIKO (キヤノン) ,  DEN TOORU (キヤノン) ,  IWASAKI TATSUYA (キヤノン) ,  AIBA TOSHIAKI (キヤノン)
Material： 日本電子顕微鏡学会学術講演会発表要旨集  (日本電子顕微鏡学会学術講演会予稿集)
Volume： 54th  Page： 96  Publication year： 1998 
JST Material Number： L1171A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： 陽極 ,  酸化シリコン膜 ,  断面TEM ,  評価