Art

J-GLOBAL ID：200902177964640172   Reference number：98A0177116

Ozone Passivation Technique for Corrosive Gas Distribution System.

腐食性ガス配管システムのためのオゾン不動態化技術

Author (4)： KOIKE K (Iwatani International Corp., Shiga, JPN) ,  INOUE G (Iwatani International Corp., Shiga, JPN) ,  TAKATA T (Iwatani International Corp., Shiga, JPN) ,  FUKUDA T (Iwatani International Corp., Shiga, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 36  Issue： 12A  Page： 7437-7441  Publication year： Dec. 1997 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： Stainless Steel ,...

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JST classification (1)： Corrosion prevention  (WB03040M)

Reference (6)：

• 1) T. Ohmi, A. Ohki, M. Nakamura, K. Kawada, T. Watanabe, Y. Nakagawa, S. Miyoshi, S. Takahashi and M. S. K. Chen: J. Electrochem. Soc. 140 (1993) 1691.
• 2) Y. Shirai, T. Hashimoto, M. Nakazaki, Y. Nakagawa and T. Ohmi: Proc. 5th Int. Symp. Semiconductor Manufacturing, Tokyo, 1996, p. 333.
• 3) Y. Shirai, T. Kojima, M. Narazaki and T. Ohmi: Proc. Microcontamination 94 Conf., San Jose, 1994, p. 272.
• 4) T. Hattori, H. Takagi, A. Boireau, H. Chevrel, E. Ozawa and J. M. Friedt: Jpn. J. Appl. Phys. 33 (1994) 2100
• 5) N. Cabrera and N. F. Mott: Rep. Progr. Phys. 12 (1948) 163.

Terms in the title (4)： 腐食性ガス ,  配管システム ,  オゾン ,  不動態化