MPS膜を被覆したQCMの湿度センサーとしての応用

IYOSHI MEGUMI; KIM K Y; KIM J-D; SUGIMURA HIROYUKI; TAKAI OSAMU; KUROSAWA SHIGERU; AIZAWA HIDENOBU

Art

J-GLOBAL ID：200902178037818289 Reference number：02A0310589

MPS膜を被覆したQCMの湿度センサーとしての応用

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Volume： 104th Page： 15-16 Publication year： Sep. 07, 2001
JST Material Number： Y0050A ISSN： 0917-2947 Document type： Proceedings
Article type：短報 Country of issue： Japan (JPN) Language： JAPANESE (JA)

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Analytical instruments , Hygrometry,hygrometer

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