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J-GLOBAL ID：200902179177734111   Reference number：04A0074697

Influence of Evaporation Conditions on Physical Properties of MgO Thin-Film.

MgO薄膜の物性に与える蒸着条件の影響

Author (4)： HIRAKAWA T (Saga Univ., Saga) ,  GOTO S (Saga Univ., Saga) ,  ZHANG S (Saga Univ., Saga) ,  UCHIIKE H (Saga Univ., Saga)
Material： Proceedings of the International Display Workshops  (IDW)
Volume： 9th  Page： 749-752  Publication year： 2002 
JST Material Number： L4269A  ISSN： 1883-2490  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *magnesium oxide ,...
Semi thesaurus term： deposition parameter

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JST classification (2)： Display equipment  (NC06030Q) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (4)： MgO ,  薄膜 ,  物性 ,  蒸着