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J-GLOBAL ID：200902179971578710   Reference number：97A0265613

Measurement of Silicon Particles by Laser Surface Scanning and Angle-Resolved Light Scattering.

レーザ表面走査および角度分解光散乱によるシリコン粒子の測定

Author (9)： HUFF H R (SEMATECH, Texas, USA) ,  GOODALL R K (SEMATECH, Texas, USA) ,  WILLIAMS E (SEMATECH, Texas, USA) ,  WOO K-S (Univ. Minnesota, Minnesota, USA) ,  WARNER T (Arizona State Univ., Arizona, USA) ,  GILDERSLEEVE K (Motorola-Mesa, Arizona, USA) ,  BULLIS W M (Semiconductor Equipment and Materials International, California, USA) ,  SCHEER B W (VLSI Standards, Inc., California, USA) ,  STOVER J (ADE Optical Systems, North Carolina, USA)
Material： Journal of the Electrochemical Society  (J Electrochem Soc)
Volume： 144  Issue： 1  Page： 243-250  Publication year： Jan. 1997 
JST Material Number： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： LSI ,...

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JST classification (1)： Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G)

Terms in the title (5)： レーザ ,  走査 ,  分解 ,  光散乱 ,  シリコン