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J-GLOBAL ID：200902180213075969   Reference number：97A0631902

Single Process to Deposit Lead Zirconate Titanate (PZT) Thin Film by a Hydrothermal Method.

水熱合成法によるPZT薄膜の一段階成膜

Author (5)： MORITA T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  KANDA T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  YAMAGATA Y (Kanagawa Acad. Sci. and Technol., Kanagawa, JPN) ,  KUROSAWA M (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HIGUCHI T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 36  Issue： 5B  Page： 2998-2999  Publication year： May. 1997 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： piezoelectric material ,...
Semi thesaurus term： PZT

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Reference (7)：

• 1) T. Morita, M. Kurosawa and T. Higuchi: Sensors & Actuators A <b> 50</b> (1995) 75.
• 2) A. M. Flynn, L. S. Tavrow, S. F. Bart, R. A. Brooks, D. J. Ehrlich, K. R. Udayakumar and L. E. Cross: Proc. IEEE Ultrason. Symp. (1990) p. 1163.
• 3) P. Muralt, A. Koholkin, M. Kohli, T. Maeder, K. G. Brooks, R. Luthier and N. Setter: Proc. 8th Int. Conf. Solid-State Sensors & Actuators <b> 95-B5</b> (1995) 397.
• 4) G. Yi, Z. Wu and M. Sayer: J. Appl. Phys. 64 (1988) 2717
• 5) T. Abe and M. L. Reed: Proc. IEEE Micro Electrical Mechanical Systems Workshop (1994) p. 164.

Terms in the title (5)： 水熱合成法 ,  PZT ,  薄膜 ,  段階 ,  成膜