Art

J-GLOBAL ID：200902180271644051   Reference number：02A0278590

Development of large GaN substrates.

大口径GaN基板の開発

Author (6)： MOTOKI KENSAKU (住友電気工業 伊丹研) ,  NAKAHATA SEIJI (住友電気工業 伊丹研) ,  OKAHISA TAKUJI (住友電気工業 伊丹研) ,  MATSUMOTO NAOKI (住友電気工業 伊丹研) ,  KOKITSU AKINORI (東京農工大 工) ,  SEKI HISASHI (東京農工大 工)
Material： 人工結晶討論会講演要旨集
Volume： 46th  Page： 1-6  Publication year： Dec. 03, 2001 
JST Material Number： L1397A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *substrate (plate) ,...
Semi thesaurus term： VPE growth

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JST classification (2)： Materials of solid-state devices  (NC03020K) ,  Semiconductor thin films  (BK14040E)

Terms in the title (3)： 大口径 ,  GaN ,  開発