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J-GLOBAL ID：200902180283280225   Reference number：99A0248325

Effect of pyrolysis temperature on the characteristics of PZT films deposited by the sol-gel method.

ゾル-ゲル法で堆積させたPZT膜の特性に対する熱分解温度の効果

Author (4)： LAW C W (Hong Kong Polytechnic Univ., HKG) ,  TONG K Y (Hong Kong Polytechnic Univ., HKG) ,  LI J H (Jiangsu Inst. Petrochemical Technol., Jiangsu, CHN) ,  LI K (Jiangsu Inst. Petrochemical Technol., Jiangsu, CHN)
Material： Thin Solid Films
Volume： 335  Issue： 1/2  Page： 220-224  Publication year： Dec. 14, 1998 
JST Material Number： B0899A  ISSN： 0040-6090  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *thin film growth ,...
Semi thesaurus term： *PZT ,...

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JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Ferroelectrics,antiferroelectrics and ferroelasticity  (BM05030B)

Terms in the title (4)： ゾル-ゲル法 ,  堆積 ,  PZT ,  熱分解温度