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J-GLOBAL ID：200902180835095797   Reference number：01A0552157

Influence of ambient gas on diamond-like carbon films prepared by KrF pulsed laser deposition.

KrFパルスレーザ蒸着法で作製したダイヤモンド状炭素膜への雰囲気ガスの影響

Author (5)： EBIHARA K (Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN) ,  NAKAMIYA T (Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN) ,  OHSHIMA T (Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN) ,  IKEGAMI T (Kumamoto Univ., Kumamoto, JPN) ,  AOQUI S (Kumamoto Inst. Technol., Kumamoto, JPN)
Material： Diamond and Related Materials  (Diam Relat Mater)
Volume： 10  Issue： 3/7  Page： 900-904  Publication year： Mar. 2001 
JST Material Number： W0498A  ISSN： 0925-9635  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *DLC film ,...

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JST classification (2)： Semiconductor thin films  (BK14040E) ,  Electronic structure of crystalline semiconductors  (BM02060N)

Terms in the title (4)： レーザ蒸着 ,  作製 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  雰囲気ガス