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J-GLOBAL ID：200902181026891520   Reference number：94A0181193

Microstructure of SiC thin films produced on graphite by excimer-laser chemical vapour deposition.

Author (3)： SUZUKI H (National Research Inst. Metals, Ibaraki, JPN) ,  ARAKI H (National Research Inst. Metals, Ibaraki, JPN) ,  NODA T (National Research Inst. Metals, Ibaraki, JPN)
Material： Journal of Materials Science Letters  (J Mater Sci Lett)
Volume： 13  Issue： 1  Page： 49-52  Publication year： Jan. 01, 1994 
JST Material Number： D0919B  ISSN： 0261-8028  CODEN： JMTSAS  Document type： Article
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (2)： SiC ,  LASER