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J-GLOBAL ID：200902181153532814   Reference number：96A0320221

Three-Dimensional Calculation of Current Distribution in Electrodeposition on Patterned Cathode with Auxiliary Electrode.

補助電極を用いるパターン化カソード上への電着における電流分布の3次元計算

Author (2)： CHOI Y-S (Seoul National Univ., Seoul, KOR) ,  KANG T (Seoul National Univ., Seoul, KOR)
Material： Journal of the Electrochemical Society  (J Electrochem Soc)
Volume： 143  Issue： 2  Page： 480-485  Publication year： Feb. 1996 
JST Material Number： C0285A  ISSN： 1945-7111  CODEN： JESOAN  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： electroplating ,...
Semi thesaurus term： cathodic reduction

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JST classification (2)： Electroplating  (WC08023B) ,  Electrochemical reaction  (CB07050F)

Terms in the title (7)： 補助電極 ,  パターン化 ,  カソード ,  電着 ,  電流分布 ,  3次元 ,  計算