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J-GLOBAL ID：200902182096620414   Reference number：03A0084014

Large-Scale Synthesis of Aligned Carbon Nanotubes by Surface-Wave-Excited Microwave-Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition.

表面波励起マイクロ波プラズマCVD法による整列炭素ナノチューブの大規模合成

Author (6)： HAYASHI H (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN) ,  KOGA M (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN) ,  KASHIRAJIMA J (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN) ,  TAKAHASHI K (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN) ,  HAYASHI Y (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN) ,  NISHINO S (Kyoto Inst. Technol., Kyoto, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters & Express Letters)
Volume： 41  Issue： 12B  Page： L1488-L1491  Publication year： Dec. 15, 2002 
JST Material Number： F0599B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： excitation of surface wave ,...

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JST classification (2)： Atomic and molecular clusters  (BH09030O) ,  Thermoionic emission and field emission  (BM09020S)

Reference (8)：

• 1) S. Iijima: Nature 354 (1991) 56.
• 2) S. Iijima and T. Ichihashi: Nature 363 (1993) 603.
• 3) Z. F. Ren, Z. P. Huang, J. W. Xu, J. H. Wang, P. Bush, M. P. Siegel and P. N. Provebcio: Science 282 (1998) 1105.
• 4) Y. Hayashi, T. Negishi and S. Nishino: J. Vac. Sci. & Technol. A <B>19</B> (2001) 1796.
• 5) H. Murakami, M. Hirakawa, C. Tanaka and H. Yamakawa: Appl. Phys. Lett. 76 (2000) 1776.

Terms in the title (5)： 表面波励起 ,  マイクロ波プラズマCVD ,  整列 ,  炭素ナノチューブ ,  大規模