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J-GLOBAL ID：200902182441667747   Reference number：00A0753121

Three-dimensional microfabrication using two-photon activated chemistry.

二光子活性化化学を用いた三次元微細加工

Author (9)： KUEBLER S M (Univ. Arizona, AZ) ,  CUMPSTON B H (California Inst. Technol., CA) ,  ANANTHAVEL S (Univ. Arizona, AZ) ,  BARLOW S (California Inst. Technol., CA) ,  EHRLICH J E (California Inst. Technol., CA) ,  MCCORD-MAUGHON D (California Inst. Technol., CA) ,  RUMI M (Univ. Arizona, AZ) ,  MARDER S R (Univ. Arizona, AZ) ,  PERRY J W (Univ. Arizona, AZ)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 3937  Page： 97-105  Publication year： 2000 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *fine patterning ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Substance index (1)： Stilbene

Terms in the title (4)： 二光子 ,  活性化 ,  化学 ,  微細加工