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J-GLOBAL ID：200902182848784322   Reference number：99A0027761

Dependence of the ESD waveforms in micro-gap on the relative humidity in the discharge region.

微小ギャップ静電気放電の電流波形の湿度依存性

Author (3)： FUJIWARA HIROTAKE (東京理大 工) ,  MASUI NORIAKI (東京理大 工) ,  TANI TATSUO (東京理大 工)
Material： 静電気学会講演論文集  (Proceedings of Annual Meeting of the Institute of Electrostatics Japan)
Volume： 1998  Page： 93-94  Publication year： 1998 
JST Material Number： F0983B  ISSN： 1342-1492  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *Static Electricity ,...

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JST classification (1)： Gas discharges  (BJ03020T)

Terms in the title (4)： 微小ギャップ ,  静電気放電 ,  電流波形 ,  湿度依存性