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J-GLOBAL ID：200902182894801207   Reference number：95A0359404

自動芯出しチャックの研究 (第三報) 圧電素子による自動芯出しダイヤフラムチャック

Author (4)： JITSUHISA MASAAKI (広島工大) ,  WATANABE KENJI (ヒロテック) ,  TERATANI TADAO (広島工大) ,  KATAYAMA GONOJO (広島工大)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1994  Issue： Autumn 3  Page： 847-848  Publication year： Sep. 1994 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： 芯出し ,  チャック ,  研究 ,  圧電素子 ,  ダイヤフラム