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J-GLOBAL ID：200902183826903812   Reference number：99A0968348

Optical propertis of Si nanoclusters in SiO₂ fabricated by ion implantation.

イオンビームによる石英ガラス,シリコン熱酸化膜中のナノサイズシリコン微粒子形成とその物性

Author (1)： IWAYAMA TSUTOMU (愛知教大)
Material： 日本板硝子材料工学助成会成果報告書  (Nippon Sheet Glass Foundation for Materials Science and Engineering Report)
Volume： 17  Page： 13-18  Publication year： Sep. 1999 
JST Material Number： X0948A  ISSN： 0910-559X  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *silicon ,...

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JST classification (2)： Luminescence of inorganic compounds  (BM08093J) ,  Irradiational changes of other materials  (BK16124V)

Terms in the title (6)： イオンビーム ,  石英ガラス ,  シリコン ,  熱酸化膜 ,  微粒子 ,  物性