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J-GLOBAL ID：200902184162166064   Reference number：96A0333191

Cross-Sections, Rate Constants and Transport Coefficients in Silane Plasma Chemistry.

シランプラズマ化学における断面積,速度定数,輸送係数

Author (3)： PERRIN J ,  LEROY O (ONERA, Palaiseau, FRA) ,  BORDAGE M C (Univ. Paul Sabatier, Toulouse, FRA)
Material： Contributions to Plasma Physics  (Beitraege aus der Plasmaphysik)
Volume： 36  Issue： 1  Page： 3-49  Publication year： 1996 
JST Material Number： H0173A  ISSN： 0863-1042  CODEN： BPPHAA  Document type： Article
Article type： 文献レビュー  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： silane ,...

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JST classification (3)： Plasma in general  (BJ02010B) ,  Scattering of ions by atoms  (BH04040Q) ,  Reaction due to charged particle bombardment and electric discharge  (CB06020R)

Terms in the title (5)： シラン ,  プラズマ化学 ,  断面積 ,  速度定数 ,  輸送係数