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J-GLOBAL ID：200902184197458769   Reference number：95A1045366

Extraction Properties of Oxygen and Fluorine Negative Ions from RF Plasma-Sputter-Type Heavy Negative-Ion Source.

RFプラズマスパッタ型負重イオン源からの酸素及びフッ素負イオン引き出し特性

Author (5)： TOMITA TETSUO (京大 大学院) ,  TSUJI HIROSHI (京大 大学院) ,  TOYOTA YOSHITAKA (京大 大学院) ,  GOTO YASUHITO (京大 大学院) ,  ISHIKAWA JUNZO (京大 大学院)
Material： 粒子線の先端的応用技術に関するシンポジウム  (Proceedings of the Symposium on Beam Engineering of Advanced Material Syntheses)
Volume： 6th  Page： 191-194  Publication year： Nov. 1995 
JST Material Number： L2435A  ISSN： 0919-3308  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： negative ion source ,...

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JST classification (1)： Electron and ion sources  (BD02020U)

Terms in the title (7)： RFプラズマ ,  スパッタ ,  重イオン ,  酸素 ,  フッ素 ,  負イオン ,  引き出し