Art

J-GLOBAL ID：200902184305734280   Reference number：97A0414601

Manufacture of a thin film solid electrolyte for a fuel cell by radio frequency sputtering.

高周波スパッタリング法による燃料電池用薄膜固体電解質の作製

Author (4)： KONISHI NAGAYOSHI (大阪工大) ,  OKAYAMA HIDEO (大阪工大) ,  NAGATA AKIYOSHI (大阪工大) ,  ISA HIROMU (大阪工大)
Material： 電気関係学会関西支部連合大会講演論文集  (Record of the Kansai Section Joint Convention of Institutes of Electrical Engineering, Japan)
Volume： 1995  Page： G205  Publication year： Nov. 1995 
JST Material Number： L2273A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： 高周波スパッタリング ,  燃料電池 ,  薄膜 ,  固体電解質 ,  作製