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J-GLOBAL ID：200902184894425283   Reference number：96A0961271

Novel Alkaline-Soluble Alicyclic Polymer Poly(TCDMACOOH) for ArF Chemically Amplified Positive Resists.

Author (4)： MAEDA K (NEC Corp., Kanagawa, JPN) ,  NAKANO K (NEC Corp., Kanagawa, JPN) ,  OHFUJI T (NEC Corp., Kanagawa, JPN) ,  HASEGAWA E (NEC Corp., Kanagawa, JPN)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 2724  Page： 377-385  Publication year： 1996 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (1)： ARF