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J-GLOBAL ID：200902185103731137   Reference number：94A0343345

A Study on a Micro-Actuator Using Fluid Power. 1st Report, Research on an Actuator Type Suitable for Micro-Mechanisms and Its Application to an In-Pipe Mobile Machine.

流体パワーを用いたマイクロアクチュエータに関する研究 第1報 微小化に適したアクチュエータ方式の検討と管内走行機械への応用

Author (2)： YOSHIDA KAZUHIRO (東京工大 精密工研) ,  YOKOTA SHIN'ICHI (東京工大 精密工研)
Material： 油圧と空気圧  (Journal of the Japan Hydraulics & Pneumatics Society)
Volume： 25  Issue： 2  Page： 281-288  Publication year： Mar. 1994 
JST Material Number： S0170A  ISSN： 0286-6900  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： actuator ,...

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JST classification (1)： Design,manufacturing,and components of robots  (IC04013A)

Reference (10)：

• 1) 林 : マイクロメカニズム, 精密工学会誌, 57-1, 23/27 (1991)
• 2) ミニ特集マイクロメカニズム, 計測と制御, 28-6 (1989)
• 3) 特集マイクロマシンとマイクロメカニズム, 日本ロボット学会誌, 8-4 (1990)
• 4) 江刺 : シリコンマイクロバルブとその応用, 日本ロボット学会誌, 8-4,459/464 (1990)
• 5) T.Masaki, K.Kawata and T.Masuzawa : Micro Electro-Discharge Machining and Its Applications, Proc. MEMS'90, 21/26 (1990)

Terms in the title (8)： 流体 ,  パワー ,  マイクロアクチュエータ ,  研究 ,  微小 ,  アクチュエータ ,  走行機械 ,  応用