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J-GLOBAL ID：200902185289658973   Reference number：98A0490488

A New Method of Ultrasonic Cleaning without Baths.

洗浄漕を用いない新しい超音波洗浄法の開発

Author (5)： KATO TOMOYA (慶応大 大学院) ,  ISHIDA TAKUJI (慶応大) ,  HASHIBA KUNIO (慶応大 大学院) ,  TERAO KEN (慶応大) ,  KUNO TAKAHIKO (慶応大)
Material： 日本機械学会東北支部総会・講演会講演論文集  (日本機械学会東北支部・精密工学会東北支部総会・講演会講演論文集)
Volume： 33rd  Page： 151-152  Publication year： Feb. 1998 
JST Material Number： L0012A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *ultrasonic cleaning ,...

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JST classification (1)： Handling equipment of solid in general  (XD03031Z)

Terms in the title (3)： 洗浄 ,  超音波洗浄 ,  開発