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J-GLOBAL ID：200902186338390317   Reference number：99A0974229

ゾルゲルPZT薄膜の低温結晶化

Author (3)： HASE TAKASHI (NEC) ,  NOGUCHI TAKEHIRO (NEC) ,  MIYASAKA YOICHI (NEC)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 60th  Issue： 2  Page： 444  Publication year： Sep. 01, 1999 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (3)： PZT ,  薄膜 ,  低温結晶化