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J-GLOBAL ID：200902187733843645   Reference number：01A0595705

Possibility of a New Finishing Method with Well-Arranged Micro-Asperity Arrays. A Well-Arranged Micro-Asperity Arrays by Anisotropic Etching and a MAGIC Tool.

マイクロマシニング・ファブリケーション 均一に配列させたマイクロ多刃工具による仕上げ加工の可能性 異方性エッチングによるマイクロ多刃工具からMAGIC砥石へ

Author (1)： UMEHARA NORITSUGU (東京都科技大)
Material： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
Volume： 45  Issue： 6  Page： 283-287  Publication year： Jun. 01, 2001 
JST Material Number： L0473A  ISSN： 0914-2703  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *micromachining ,...

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JST classification (1)： Grinding  (QC03000R)

Terms in the title (6)： マイクロ ,  多刃工具 ,  仕上げ加工 ,  可能性 ,  異方性エッチング ,  砥石